技术编号:7169329
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种基于硅衬底氮化物材料的集成光子器件及其设计、制备方法,属于信息功能材料及器件。背景技术利用空气作为上下层的低折射率材料,大的折射率差异使悬空的纳米光子器件展示了优异的光学性能,可以作为单层的反射镜来代替传统的多层布拉格反射镜。集成于III 族氮化物/硅晶片的悬空纳米光子器件,通过设计合适的器件结构参数,悬空的光子器件可以作为一个谐振腔,实现对氮化物材料发光光谱的波长选择,该集成氮化物光子器件已经成为当前的研究热点之一。同时,合适的器件结构不仅...
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