技术编号：7169762
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种调整装置，特别是指一种压力调整装置。背景技术生产工业中，一些电子产品对环境有较高的要求，如设备前端模组(EFEM，Equipment Front End Module)中，首要的问题就是保证高度洁净,如果洁净不能保证的话就很可能污染晶片，导致生产的损失，而要保证高洁净度的一个重要因素就是要与使用环境有一个足够的正压差，传统的EFEM采用单层孔板结构，就提说，也就是在最下端平行于水平面的出风口处放置单层孔板，或是在晶片传送平面与电控部分之间的水...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。