技术编号:7170101
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体光电子领域,尤其涉及一种锗材料向直接带隙转变的实现方法。背景技术目前,基于硅光子技术的光互连技术被认为是解决极大规模集成电路持续发展所面临的互连瓶颈的理想方案。经过htel、IBM等半导体巨头的不懈努力,硅光子技术的诸多关键器件得以在集成电路平台上实现,包括高速硅光调制器、探测器和波导元件都得到了突破。然而由于硅是间接带隙材料导致难以实现直接发光,故片上光源没有得到实现,这是硅光子技术一直以来所面临的最大难题。III-V族与硅混合集成是比较...
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