一种半导体纳米材料器件及其制作方法技术资料下载

技术编号:7170192

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本发明涉及半导体纳米结构器件,特别是涉及。背景技术纳米技术中,金属电极与半导体材料的接触存在两种形式,一种是整流接触即肖特基接触,另一种是非整流接触即欧姆接触。其中,肖特基接触是指金属电极和半导体材料相接触的时候,在界面处半导体的能带弯曲,形成肖特基势垒,导致了大的界面电阻。而欧姆接触是指金属电极与半导体的接触电阻远小于半导体本身的电阻,使得组件操作时,大部分的电压降在活动区而不在接触面。半导体器件或集成电路必须与外部电路相连接,这种连接是通过金属-半导体...
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