技术编号:7172908
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于一种晶圆盒连动定位装置,特别是指一种其定位垫上、下移动 时,可上、下定位于适当位置上,而避免卡在外盖上的晶圆盒连动定位装置。背景技术晶圆在运送的过程中,由于空气中的微粒尘屑会沉积在晶圆上而造成污染、降低 良率,必须使用一晶圆盒来装载、运送晶圆,以避免晶圆受到污染,并在晶圆盒内的适当处 固设一晶圆定位装置,以避免晶圆在运送过程中因为碰撞而受损。一般现有的晶圆定位装置,如我国台湾省专利申请号第096203426号「晶圆放置 盒的晶圆固定装置」实...
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