技术编号:7174974
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及低成本、广视角、高画质、大画面的横向电场方式液晶显示装置、其制造方法以及扫描曝光装置。但是,如特开2000-066240号中公开的那样,在薄膜晶体管元件的沟道部采用半色调曝光法的情况下,存在的问题是薄膜晶体管元件沟道部的加工精度偏差大和在量产时容易成为不稳定的主要原因。另外,存在栅电极、源电极和漏电极的重叠量的变动引起中间色调区域中显示不匀、使合格率下降的问题。附图说明图1和图22表示的是传统的半色调曝光法。为了实现以上目的,本发明第一方面所述的...
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