氮化镓系异质结构光二极体的制作方法技术资料下载

技术编号:7177114

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本发明涉及一种半导体磊晶结构,特别是关于一种氮化镓系异质结构光二极体,藉由掺杂硼于PIN光二极体(PIN photodiode,PIN PD)的作用层,调整P层及N层间的能隙(band gap),以提升受光能力。背景技术 氮化镓系(GaN-based)化合物半导体材料主要应用于制作二极体,包括发光二极体(LFD)、激光二极体(LD)、高频/高功率电晶体及光二极体等元件。二极体结构,一般是P型及N型接面上形成一作用层,若于P型及N型接面间另外夹以一活化作用层...
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