技术编号：7177627
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种MO纳米晶薄膜的制备方法，所制备的薄膜可作为阳极材 料应用于全固态薄膜锂离子电池，属于微型能源材料领域。技术背景电子器件的微型化及微电机械系统的不断进步迫切要求微电池与之相匹 配，全固态薄膜锂电池因具有高能量密度、高电压、长循环寿命、高安全性等 优点受到人们的重视。然而，当前集成电路制作工艺多数仍采用回流焊技术， 该过程中器件被瞬间加热至250°C以上。以金属锂为阳极的薄膜电池由于锂的 低熔点(约廳。C)将被破坏，严重影响其电化学性能。因此，...
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