技术编号：7178691
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电容式力学量传感器、一种制造电容式力学量传感器的方法以及一种包含电容式力学量传感器的检测装置。当检测加速度时，在用于可移动电极10a、10b的可移动电极垫14和用于固定电极15a、15b的固定电极垫17a、17b之间施加预定电压。在该电压作用下，第一和第二电容量CS1和CS2分别形成在第一可移动电极10a与第一固定电极15a之间和第二可移动电极10b与第二固定电极15b之间。当没有加速度作用时，CS1和CS2可用下面公式1表示。CS1＝CS2...
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