技术编号:7179338
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种简化的应用于准分子激光的蝇眼式透镜阵列光束均匀器。背景技术准分子激光的光束均匀器的原理是将激光束分割成多个子光束,然后再重新叠加,从而使激光的光强在叠加面上得到平均,达到光束截面光强分布均匀性的改善。在先技术中,常用的有两种。一种是波导管式均匀器(发表在“中国激光”1995VolA22,No.12 894~896)虽然其制作比较简单,但光能量损失较大。另一种是蝇眼式光束均匀器(发表在“中国激光”1999Vol A26,No.6 560~564...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。