技术编号:7179340
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明与气体激光器有关,特别是一种具有隔离阀门的气体激光器。背景技术大型高功率二氧化碳激光器及准分子激光器中,为了获得稳定的激光输出,气体要流动循环,但是在放电过程中,电极与气体相互作用会产生一些物质被吸附在激光腔的窗口上,从而影响激光的稳定输出。为此,激光器生产商建议定期清洁腔片。在清洁腔片时整个放电室暴露在大气中,要恢复正常运转,对激光器要经过反复充气换气放电。这样不仅增加了激光器的运转成本,而且浪费了不少时间。发明内容本发明要解决的技术问题在于克服上...
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