利用金属对齐以增强互感的叠层电感的制作方法技术资料下载

技术编号:7180171

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本发明涉及微电子领域,具体是一种采用堆叠结构的叠层电感。 背景技术目前,在集成电路中包含了大量的无源器件,片上电感就是其中十分重要的一种, 片上电感是射频CMOS/BiCMOS集成电路的重要元件之一。在通常的无线产品中,电感元件 对总的射频性能有很重要的影响。因此对这些电感元件的设计和分析也得到了广泛的研 究。电感作为射频电路的核心部件,它通常可以影响到整个电路的整体性能。目前,高品质 因数的片上电感广泛应用在压控振荡器,低噪声放大器等射频电路模块中。叠层...
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