沟槽mos器件的制作方法技术资料下载

技术编号:7180224

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本发明涉及一种半导体器件,尤其是一种沟槽MOS器件。 背景技术公开号为CN1547765A的中国专利申请公开文件中,公开了一种带有肖特基的MOS 器件,其结构如图1所示,等效电路图如图2所示。该技术方案中,给MOSFET并联一个肖特 基二极管来降低整个器件的正向导通电压,从而来降低功率损耗。通过219b区域形成金属 和硅的直接接触,形成肖特基接触来降低整个器件的导通阻抗,但是这样的结构需要在芯 片表面另外的面积来实现。但是由于肖特基器件本身的金属和Si的直...
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