技术编号：7180279
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。特 别是涉及利用自径向线缝隙天线放出的微波的电场能量激发气 体来对被处理体进行等离子处理的微波等离子处理装置、以及 采用了该装置的微波的供给方法。背景技术通过将微波导入到减压状态的处理容器内，利用被导入的 微波的电场能量激发气体来产生微波等离子体。在微波等离子 处理装置中，在等离子体的电子密度大于截止密度的情况下， 微波无法进入到等离子体内而在电介质板与等离子体之间传 播，其一部分被等离子体吸收，用于保持等离子体。根据上述等离子体的生成原理，与...
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