一种具有倾斜表面漂移区的横向功率晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:7182005

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本发明属于半导体功率器件,它特别涉及大功率和高压应用的体硅横 向功率器件,如横向扩散场效应晶体管LDMOS、横向高压二极管、横向绝缘栅双极型晶体管 LIGBT等。背景技术横向高压功率MOS指的是具有横向沟道结构的高压功率MOS。由于这类器件的漏 极、源极和栅极都在芯片表面,易于通过内部连接与低压信号电路集成,故在高压集成电路 (HVIC)和功率集成电路(PIC)中作为高压功率器件特别合适。 在横向功率器件的设计中,必须综合考虑击穿电压、导通电阻、晶体管尺寸...
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