层叠型半导体装置的制作方法技术资料下载

技术编号:7182439

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相关申请的交叉参考本申请要求2001年9月29日提交的日本专利申请2001-375022的优先权,其全部内容被包含于此以供参考。在层叠型半导体装置中,各芯片间的电气连接,是通过例如贯通芯片的贯通插头(スル-プラグ)进行的。因此,为了经层叠的同一构造的存储器芯片中选择所希望的芯片,需要对每一个芯片改变使芯片达到激活状态(可以动作状态)的芯片触发脚(チツプイネ-ブルバ-,/CE)端子的位置。因而,不能使各芯片的构造共同化,导致制造成本上升。对此问题,提出了通过...
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