技术编号:7182721
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种夹持基片的方法和装置。该装置包括一个静电卡盘,用于以静电方法夹紧和夹持要加工的基片。更具体地说,本发明涉及能在夹紧基片工作过程中产生足够大的夹紧力,而在夹紧工作结束后,容易使基片分离的一种夹持基片的方法和装置。基片夹持装置可用于例如离子注入机、离子掺杂装置、离子束蚀刻装置、等离子体CVD装置,薄膜成型装置等。背景技术 图12表示相关技术的这种形式的基片夹持装置。该基片夹持装置包括一个双极性式的静电卡盘6和一个双极性输出式的直流电源14。静电卡...
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