技术编号：7183277
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体传感器，特别是一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及 其制备。背景技术气体传感器被广泛用作在线监测工作场所中的有害气体，如一氧化碳、甲烷、二氧 化硫、氮氧化物和醛类等。近年来，由于在工业生产、家庭安全、环境监测和医疗等领域对气 体传感器的精度、性能和稳定性方面的要求越来越高，对新型气体传感器的研究和开发也 越来越重要。场效应场效应管气体传感器作为传感器的一个重要分支，集气体传感器高灵 敏度、高选择性和薄膜场效应管器件易于集成化、微型化等优...
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