半导体器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:7183444

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本发明的实施例涉及一种。背景技术 闪存器件是一种非易失性存储器件,即使在未供电至闪存器件时,闪存器件仍能 保留存储在存储单元中的信息,并且在被安装到印刷电路板上时,能高速电擦除信息。 电可擦除与可编程的非易失性存储器被称为EEPR0M(电可擦除可编程只读存储 器)。利用浮栅单元的非易失性存储器件长期以来被广泛应用。 近来,由于半导体器件被高度集成,需要对传统浮栅单元减小尺寸。但是,因为 在编程/擦除操作中需要高电压并且必须保证工艺余量(processma...
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