技术编号：7183601
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体或液晶基板、甚至彩色滤光片等的制造工序中利用的曝光装置中所组装的光源装置。 背景技术在半导体或液晶基板或彩色滤光片等的制造工序中，要求处理时间的短縮化、大 面积的被处理物的统一曝光。针对该要求，提出了一种可投入更大紫外线放射强度的输入 电力较大的高压放电灯。 但是，如果增大对高压放电灯的输入电力，则对于电极的负荷增大，来自电极的蒸发物会成为肇因，产生高压放电灯黑化，寿命变短的问题。图16是表示现有技术的专利文献1中记载的光源装置的图。 如...
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