技术编号：7184766
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种肖特基二极管及其制作方法，尤其涉及一种新型GaAs肖特基二 极管及其制作方法，属于应用于微波器件的二极管。背景技术肖特基势垒二极管是微波倍频电路中常用的一种非线性器件。作为一种变容二极 管，GaAs肖特基二极管有结构简单、易于制作、变容比大、非线性强等优点，所以多应用于毫 米波、亚毫米波范围内的倍频电路上。传统的GaAs肖特基二极管，金属层与N型层GaAs表面直接接触，但是受到N型层 GaAs表面态的影响，金属层与N型层GaAs表面之间的接触...
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