技术编号：7187936
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种结晶无定形硅的方法，更尤其，涉及一种。背景技术 将无定形硅结晶成多晶硅的技术对在玻璃或塑料基材上形成高性能薄膜晶体管(TFT)是重要的。多晶硅具有比无定形硅明显更高的电子移动性，并因此在用作平板显示器如液体晶体显示器的基材的玻璃基材上用于形成驱动电路或TFT。在将无定形硅结晶成多晶硅的许多常规方法中，最广泛使用的方法是一种图1所示的受激准分子激光退火方法(eximer laser annealing method)。在受激准分子激光退火方法中...
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