技术编号：7187939
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检测基板上的被检标记的位置的标记位置检测装置，特别是涉及一种适用于半导体元件等的制造工序中进行高精度位置检测的标记位置检测装置。接下来，为了在形成于上述规定材料膜上的电路图形上面形成另外的电路图形，反复进行相同的图形形成工序。通过反复数次进行图形形成工序，各种材料膜的电路图形被叠合在基板(半导体晶片或源极基板)上，从而形成半导体元件或液晶显示元件的电路。但是，在上述制造工序中，为了高精度地叠合各种材料膜的电路图形，在各个图形形成工序中的曝光工...
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