技术编号:7187945
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多晶硅薄膜的制作方法,尤其涉及一种利用准分子激光退火(excimer laser annealing,ELA)工艺制作多晶硅薄膜的制作方法。背景技术 随着科技的日新月异,轻薄、省电、便携式的智能型信息产品已经充斥了我们的生活空间,显示器在其间扮演了相当重要的角色,不论是手机、个人数位助理或是笔记型电脑,均需要显示器作为人机沟通的介面。然而现今已大量生产的非晶硅薄膜晶体管液晶显示器(a-TFT LCD),由于载流子迁移率的限制,要进一步达到轻薄...
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