技术编号:7189076
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械和半导体制造行业中的工作平台,尤其涉及一种工作平台的移动机构。 背景技术目前,在机械和半导体行业中,为了实现工作平台的移动,最常用的技术手段采用 电机丝杆传动,如机床的工作平台也采用电机丝杆传动。电机丝杆传动可以实现较为精确 的位置传动,定位精度和重复定位精度较高,误差小。工作平台移动平稳。在一定空间范围 里可以实现较大的行程。 但是,对于以下情况用电机丝杆传动就很难实现。当安装的空间很小,以至于小到 无法安装电机。当要求有较大的行程,但...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。