技术编号：7189274
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种平版印刷投射装置包括—一个用于提供辐射投射光束的辐射系统；—一个用于支撑图案形成装置的支撑结构，所述图案形成装置根据理想的图案产生图案投射光束；—用于支撑基片的基片台；—用于将图案的光束投射到基片的靶部上的投射系统。—平面磁性定位装置用于将所述基片定位在一平面内。这里使用的术语“图案形成装置”应广意地解释为能够用于与图案的横截面一起授与入射的辐射光束的相关装置，所述图案与在基片的靶部上形成的图案一致；术语“光阀”也在上下文中使用。一般地，所述...
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