技术编号:7189755
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及激光打标系统,尤其是半导体器件封装中使用的扫描式激光打标 系统,属于激光应用技术及激光打标。技术背景目前,半导体器件封装后的标识大多采用扫描式激光打标,连续激光器10产生的 连续激光通过扩束准直镜11后的激光束照射到X/Y偏转镜1上,偏转镜1在计算机的控制 下对激光束进行偏转运动,然后激光束经过聚焦透镜2照射到被标识物体12的表面,物体 的表面物质燃烧在激光扫描的轨迹上产生标识。如图1所示。扫描式激光打标特点是打 标内容可以任意设定,能量密度...
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