技术编号：7193401
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种压电步进器，特别涉及一种双压电体并排推动的三摩擦力步进器以及用其制成的扫描探针显微镜镜体，属于压电定位器。 背景技术同时拥有纳米级定位精度、毫米级大行程、从超低温到高于室温的大工作温区、大 驱动力、小尺寸、结构简单牢固和控制简单可靠的定位器是现今精密测量、纳米器件加工、 原子/分子操纵、乃至亚原子结构成像所梦寐以求的定位工具，特别是在超低温和超强磁 场等极端物理条件下的纳米科学研究领域就更离不开这样的理想定位装置。例如超低温 条件一般只能...
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