技术编号:7194442
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型所揭露的实施例大体上是有关于一种用来处理基板的装置,其中该基板举例但不限于玻璃与其它使用于太阳能或光伏(photovoltaics, PV)工业的基板,以及使用于半导体工业的晶圆。且本实用新型揭露的实施例特别是有关于一种包含一个或多个横向移动室(mobile transverse chamber)在多个工艺模块(process module)之间传输基板的装置。背景技术半导体元件、平面显示面板以及光伏或太阳能电池的制作需要对各种基板执行多重的工艺...
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