技术编号:7195021
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,特别涉及一种分析产品工艺参数及测试结果的复合式多变量分析系统。背景技术 在产品制造过程中,例如在半导体制造技术中,要完成一半导体产品通常要经过许多工艺,例如微影工艺、蚀刻工艺、离子注入工艺等;亦即在半导体制造过程中必须应用到庞大数量的机台,以及许多繁琐的程序。因此,本领域技术人员均致力于确保机台运作正常;维持或提高产品的成品率;检测确认问题点以及机台维修等作业,以期使半导体产品的生产速度及品质能够合乎客户需求。而随着半导体工艺科技的日新月异...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。