技术编号:7195971
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,属于传感器技术和半导体传感器制造领域。众所周知,二氧化碳是导致温室效应和全球变暖的气体。以往通常的检测方法是使用红外线探测器。红外线探测器体积大,价格高,不适用于现场的快速或在线检测。一般的半导体气体传感器使用的半导体材料为二氧化锡、氧化锌、氧化铁等材料,但它们对微量二氧化碳都不很敏感,不适合检测二氧化碳气体。本发明的一种,其特征在于,采用厚膜工艺制造掺杂CuO-BaTiO3体系的厚膜气敏元件,掺杂物质包括含有Ag离子的AgNO3,PdCl...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。