技术编号：71972
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种纳米近接定位装置，尤其是指一种光谱偏移式纳米近接装置，其可整合于现有的扫瞄式近场光学显微镜(SNOM)，应用于兆位元组(Terabyte)储存技术中的光学读取头、纳米光学检测平台、光纤阵列探头等装装置。 背景技术在结构物的检测和制程诊断上，光学和光谱方法提供了待测样品的相当丰富的信息，例如其化学组成、应力、极性、键结及其他参数，是材料制程研发不可或缺的工具。然而在进行纳米尺度的量测时，一般光学或光谱检测仪器受限于光绕射极限，无法将光点聚集至纳米等级，因此必须整合光纤探头进入显微镜中，以近场光...
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