用于装运硅片的夹具的制作方法技术资料下载

技术编号:7197879

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本实用新型涉及太阳电池的制作工具,尤其涉及一种用于装运硅片的夹具。背景技术太阳电池作为新兴的清洁可再生能源,因具能直接将太阳能转换为电能,且具有 寿命长、维护简单、可实现无人值守等优点而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛 的应用。 扩散工艺是晶体硅太阳能电池生产过程中的关键工序,需要使用一种夹具用于装 运硅片,避免人手直接接触硅片,从而保证工艺的洁净度。 现晶体硅太阳电池领域所使用的扩散炉多为水平式扩散炉,使用水平式石英舟装 载硅片。工艺时一个石英舟...
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