技术编号:7198293
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型为应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手,是达到了高速运转、平稳传送、无金属离子污染、无颗粒污染、防酸碱腐蚀等优越性和谐统一的机械手,属于机械。背景技术槽式酸刻蚀(如BHF刻蚀、B0E刻蚀、DHF刻蚀等)及碱刻蚀(KOH等)清洗设备是目前半导体IC制造及硅片制造的常用设备。此类设备的槽式方案通常是一个纯水清洗槽对应一个药液(HF、K0H等)清洗槽。设备使用的药液非常危险,如果操作人员直接接触,非常容易对人体造成伤害。芯片及硅片的加工制造环境要...
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