使用微机电系统开关的静电放电保护的制作方法技术资料下载

技术编号:7204728

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本发明的实施例涉及电路。更为特别地,本发明的实施例涉及用于保护电路不遭受静电放电的方法和电路。背景技术许多集成电路(IC)的一个主要的可靠性问题是静电放电(ESD)。在ESD事件期间,大量电荷在相当短的时间段内从一个物体(诸如人、传输线或金属)转移到另一个物体(诸如IC),这导致产生峰值电流,其可以导致对IC的极大的损坏。例如,ESD损坏可以包括栅极氧化物的击穿、栅极氧化物中的空穴的形成,和/或内部连接的熔化或汽化。注意,用于测试IC对ESD事件的适应力的...
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