技术编号:7204851
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对向包含电负性气体和电正性气体的等离子体生成用气体供给能量而得到的真空容器内的等离子体的电特性进行测定的等离子体测定方法,特别是基于 以规定的处理条件生成的等离子体的电流电压曲线把握上述等离子体的电特性的技术。背景技术在半导体器件的制造工序中,通常进行向被导入处理室内的处理气体供给能量例 如高频电力使该处理气体等离子体化,从而利用该等离子体进行蚀刻处理、成膜处理等使 用等离子体技术的半导体工艺(process)。在进行这种处理的等离子体处理装...
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