技术编号:7205820
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及线焊机,尤其涉及线焊机上的导线放线测量和校准技术。 背景技术在各种半导体装置的制造和加工过程中,线焊机常常用于在设备中的部件之间提 供互连。通常以导线环的形式提供互连,该导线环在第一接合位置(例如,半导体管芯的管 芯衬垫)和第二接合位置(例如,衬底的导电区域,如引线框架的引线)之间“接合”。这种 线焊机通常包括导线提供系统,用于将导线盘中的导线提供给线焊机的接合头。线焊机的 接合头通常携带导线钳位器、传感器(例如,超声波传感器)以及接合工具(例如...
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