技术编号：7205861
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具备形成于光电转换部上的透明导电膜的。 背景技术太阳能电池将清洁且无限供给的太阳光直接转换成电力，因此，作为新的能源被 期待。太阳能电池具有η型半导体层和ρ型半导体层，且具备通过受光而生成光生载流 子的光电转换部。载流子经由形成于η型半导体层上及ρ型半导体层上的电极从光电转换 部被取出。电极有时使用透明导电膜和金属层的层叠构造。该情况下，优选透明导电膜的 电阻率低。在此，提出有在含氢的气氛中形成透明导电膜的方法(参照日本特开平2-54755 号公...
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