技术编号:7205868
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体涉及半导体、数据存储器、平板显示器以及类似或其它行业中使用的 工艺设备。尤其是,本发明涉及用于将电极或其它材料固定到工艺设备内的背板的由凸轮 操作的夹具。背景技术自从半导体器件在几十年前被首次引入之后,这些器件的几何结构(即,集成电 路设计规则)已经在尺寸上显著减小了。集成电路(IC)通常遵循“摩尔法则”,意思是单一 集成电路芯片上存在的器件的数量每两年会翻一番。当前的IC制造设施通常生产特征尺 寸为65nm(0. 065 μ m)的器件,未来的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。