技术编号：7206028
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电磁阀。 背景技术在过去，特别是半导体装置中使用的阀门被要求小型化并能够快速开闭，为了满 足该要求，例如，如图5 图7所示，人们提出了一种将螺线管小型化的电磁阀的技术方案 (专利文献1)。图5是表示常闭型电磁阀的纵剖视图，图7是表示常开型电磁阀的纵剖视图。图6 是将图5的电磁阀的螺线管部分进行放大表示的剖视图。在形成于阀室Ia底面上的阀座 2的上方配设有金属制成的隔膜5。在插入到阀室Ia内部的上阀盖(bonnet) 3与阀体1之 间，金属制成的隔...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。