技术编号:7206194
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及场效应晶体管及方法,尤其涉及具有凹陷场板(RFP,Recessed Field Plate)以及相关技术的高可靠功率绝缘栅极场效应晶体管(MOSFET)。背景技术功率MOSFET广泛用来作为许多电子应用当中的切换装置。为了让传导功率损耗 降至最少,所以MOSFET要具有低特定接通电阻,其定义为接通电阻面积乘积(R。n*A),其中 Ron为MOSFET位于接通状态时的MOSFET电阻,A为MOSFET的面积。沟槽MOSFET提供低特 定接通电阻,尤...
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