技术编号：7206786
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及非易失性半导体存储器装置(特别地，EEPROM(电可擦除和可编程 只读存储器)或闪存)及其制造方法。背景技术非易失性半导体存储器装置(也称为非易失性存储器)用作例如数码相机、便携 式音频播放器和蜂窝电话等各种产品的记录介质。非易失性半导体存储器装置的研究和 开发已经在积极地进行以满足市场的各种需求，例如，进一步地产品尺寸的减小、记录 容量的增加、记录和读取的响应速度的增加和功耗的减小。作为满足前面提到的市场需求的方式中的一个，近年来，所谓的SOI...
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