具有背侧沟槽的背侧照射式图像传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:7207134

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本发明一般来说涉及供在数码相机及其它类型的成像装置中使用的电子图像传 感器,且更特定来说涉及供用于形成背侧照射式图像传感器的处理技术。背景技术典型的电子图像传感器包含布置成二维阵列的若干个光敏图片元件(“像素”)。 此种图像传感器可经配置以通过在像素上方形成适当滤色器阵列(CFA)而产生彩色图 像。此类型的图像传感器的实例揭示于标题为“具有改善的光敏感度的图像传感器(Image Sensor with Improved Light Sensitivity)...
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