技术编号：7207261
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及装置和用于加工该装置的方法，更具体地，涉及微柱体和加工 该微柱体的方法。背景技术微型机械，也被称作微电机械系统(MEMS)，是使用为集成电路工业开发的工具和 技术来构建极小机器的新兴技术。一般在标准硅晶圆上构建这些机器，他们通常被认为大 小在100纳米到100微米之间。该技术的优点是可以在晶圆表面上在相同时间构建很多机 器，并且用于加工这些设备的过程使用与用于加工集成电路类型相同的平板印刷过程。这 些微小的机器正在变得无处不在，并且快速地找...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。