技术编号:7207296
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。柱的三角形二维互补图案形成相关专利申请的交叉引用本申请要求于2008年6月30日提交的美国专利申请12/216,109的权益,其全文 通过引用合并与此。背景技术本申请一般地涉及制造半导体器件的方法,更具体地,涉及制造半导体柱状结构 的方法。由半导体材料制成的器件用于产生电组件和系统的存储电路。存储电路是这类器 件的中枢,因为数据和指令组被储存在其中。最大化此类电路上的每单位面积的存储元件 数量可最小化其成本并因此是此类电路的设计的首要动机。由于在半导体晶片...
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