技术编号：7207469
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于用于电子装置、半导体、太阳能、IXD(液晶显示器)、薄膜、 OLED (有机发光二极管)、及纳米制造的减弱系统，并且更具体地说，是有关于将流体引入 减弱反应器的方法和设备。背景技术来自半导体、太阳能、IXD、薄膜、0LED、和纳米制造材料、以及电子装置、产品和内 存对象的制造的排出气体是由在制造设施内使用及产出的范围广阔的化学化合物组成。这 些化合物包含无机和有机化合物、光阻及其它试剂的分解产物、及范围广阔的其它气体。希 望能在从该处理设施排...
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