技术编号：7208042
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在双面研磨装置中研磨芯片时用来保持芯片的双面研磨装置用 载具及使用此装置的双面研磨方法。背景技术在抛光等中同时对芯片的双面进行研磨时，会利用双面研磨装置用载具来保持芯 片。此双面研磨装置用载具形成为厚度比芯片更薄，并在双面研磨装置的上方磨盘与下方 磨盘之间的特定位置处具备用于保持芯片的保持孔。芯片插入至此保持孔中而被保持，并 由设置于上方磨盘与下方磨盘的相向面的研磨布等研磨工具来夹持芯片的上下面，一边向 研磨面供给研磨剂一边进行研磨。此处，这...
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