技术编号:7208247
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例一般涉及狭缝阀门,以及利用狭缝阀门以密封一腔室的方法。 背景技术在半导体、平板显示器、光伏/太阳能板以及其它基板处理系统中,通常将真空腔 室(即,加载锁定、传送腔室、处理腔室)排置为群集式、直列式(in-line)或群集式/直列 式的组合,以处理基板。这些系统可以采单一基板或批式基板的方式来处理基板。在处理 过程中,基板会于腔室之间传送,而该些腔室内必须维持或建立真空。为了允许进入腔室内 部,并能够进行真空操作,通常在腔室壁穿设有一形状为狭缝...
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