技术编号：7208385
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及处理设备，其中带状柔性基质在被输送的同时经受诸如成膜之类的处 理，且更具体地说，本发明涉及对柔性基质的横向位置进行控制的控制装置。背景技术刚性基质通常用作用于半导体薄膜之类的薄膜层叠体的基质。在一些情形中，使 用诸如塑性薄膜之类的柔性基质，从而通过对重量减轻且构造为卷筒的基质进行处理来改 进便利性，以实现增加产量和降低成本的目的。例如，专利文献1披露一种对薄膜层叠体 (薄膜光电变换元件)进行制造的制造设备，其中在对由退绕卷筒供给的带状柔性基质(聚...
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