技术编号：7209163
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及绝缘体上半导体(SOI)结构的制造，例如具有非圆形横截面的那些结构和/或具有相对大的横截面积的那些结构。背景技术随着市场需求的持续增长，绝缘体上半导体器件正变得越来越合乎需求。SOI技术对于高性能薄膜晶体管(TFT)、太阳能电池以及例如有源矩阵显示器、有机发光二极管 (OLED)显示器、液晶显示器(IXD)的显示器、集成电路、光电器件等正变得越来越重要。SOI 结构可包括半导体材料薄层，例如在绝缘材料上的硅。多种获得SOI结构的方法包括在晶格匹配...
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